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气柜和尾气处理辅助设备



 

 

 

安全气体传送面板
典型应用:

  • Ar
  • N2
  • O2
  • CDA

半自动气柜用于可燃气体存储和传输;
典型应用:

  • H2
  • CH4
  • C2H4
  • C2H2

全自动气柜用于自燃性及腐蚀性气体的存储和传输; 可容纳2-3个钢瓶,均带有氮气吹扫功能和真空吹扫功能;
典型应用:

  • SiH4、GeH4
  • B2H6、PH3
  • NH3
  • HCl、H2Se、H2S

 

 

The EGC300 壁挂式尾气燃烧炉

 

典型应用: 可燃气体烧结处理

  • H2
  • Hydrocarbon gases: CH4, C2H4, C2H2
  • CO
  • NH3

 

 

The EGC 400/600 燃烧/湿法复合尾气处理

特点:

  • 最高升温 900 C
  • EGC410氢气处理量: 20 SLPM Hydrogen
  • EGC610氢气处理量: 50 SLPM Hydrogen

典型应用: 可燃气体、自燃气体、腐蚀性气体

  • SiH4, GeH4, Si2H6
  • B2H6, PH3
  • Metalorganics: DEZ, TMA, TCS, SiCl4, SnCl4
  • H2S, H2Se
  • H2, Hydrocarbons, CO, NH3
  • HCl